v 功能特點ü 本底真空5E-10Torrü 配置REHEED系統ü 4軸加熱樣品臺,可旋轉、XYZ方向均可移動ü 手動或自動LoadLock上下片系統ü 抽氣流量控制ü 全金屬泄漏閥ü 激光加熱器v 生長材料 異質結構金屬氧化物(如Fe/SrTiO3、Nb/SrTiO3、BiFeO3等)、高溫超導材料、硅氧化物、高K氧化物、金屬氮化物、鐵電材料等