鍍膜機
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蒸銦專用設備,滿足高品質銦柱沉積的需要,具有成熟的蒸銦的工藝,具有優化的Lift-off工藝設計,滿足高厚度、回流、倒裝冷焊的工藝前道要求。
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用于超導量子實驗室制備超導結(量子比特和約瑟夫森結)和量子器件,可以制備大面積、高穩定性和可重復性超導結。
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使用離子源,將靶材(金屬或電介質)沉積或濺射到基片上,以形成金屬或電介質膜。因為離子束是等能的(離子具有相等的能量),且高度準直,所以與其他PVD(物理氣相沉積)技術相比,其能夠精確地控制厚度,并沉積非常致密的高質量薄膜。
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用于在超高真空環境下制備高性能的Nb、Ti、Al、NbTi等低溫超導薄膜和Fe、Co、Ni及合金等磁性薄膜。
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超高真空電子束蒸發鍍膜機