v 功能特點 用于超導量子實驗室制備超導結(量子比特和約瑟夫森結)和量子器件,可以制備大面積、高穩定性和可重復性超導結。ü 四腔室超高真空系統ü 進樣室(LoadLock,預處理)ü 離子銑室(Ion Milling Chamber)ü 電子束蒸發室(E-beam Chamber)ü 氧化室(OXIDATION Chamber)ü 超高真空傳輸系統(UHV Tunnel integration system)