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激光直寫光刻機知識點科普2021-12-25激光直寫光刻機知識是一種多功能激光光刻機,采用固定連續的375nm或405nm紫外光源,直接在光刻膠或紫外敏感膠中刻劃出微結構,直寫面積可達6英寸,較小特征尺寸
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超高真空磁控濺射鍍膜機知識點介紹2021-12-25主要用于制備高品質、復雜的先進薄膜材料,屬于高端薄膜制備設備,用于生長各種微納米尺度的單層膜或多層膜材料,可制備超硬膜、耐腐蝕摩擦薄膜、超導薄膜、磁性薄膜、光學薄膜,以及各種具有特殊功能的薄膜,尤其是在微電子機械系統、微流體、納米壓印、微電子封裝、生物芯片等跨學科領域有著重要應用。
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反應離子刻蝕機了解一下2021-12-25反應離子刻蝕機原理是將10~100MHZ高頻電壓置于平板電極之間能在試樣之前產生幾百微米厚的離子層。當化學腐蝕時,離子以一種高速碰撞方式完成化學反應腐蝕。所以,
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電子束蒸發鍍膜機知識點介紹2021-12-25儀器結構:它主要由主機、控制系統、真空路等組成。1.主機:包括電壓源、電子槍、坩堝等;2.控制系統:工藝控制、溫控等系統;3.真空氣路系統:將初空泵和低溫真空泵
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離子束濺射的優點及缺陷2021-12-25離子束濺射的優點:1.離子束濺膜是一種動量交換,它使固體物質內的原子.分子進入氣相,濺射平均能量為10eV。經過真空蒸發處理后,顆粒體積增加了100倍左右,在沉
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?介紹了脈沖激光沉積技術的發展過程2021-12-25介紹了脈沖激光沉積技術的發展過程發展過程: 脈沖激光沉積的研究和發展處處受制。實際上,當時激光技術還不夠成熟,可獲得的激光種類有限,輸出的激光既不穩定又重復頻率
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分子束外延了解一下2021-12-25分子束外延是一種用于物理,化學,材料科學等領域的分析儀器。 在半導體工藝中,分子束外延技術是近十幾年發展起來的一種新型技術,它是在超高真空條件下,與真空蒸鍍法相
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?粉體工程革命-原子層沉積設備選擇2021-12-25通過幾年的發展,粉體技術已形成多種制備加工工藝。而長期以來,由于缺乏有效的精密手段,表面涂層技術是改善粉末理化性能的重要手段。常規的液相涂覆或氣相涂布方法不能準